一種基于臨界反應(yīng)距離控制的微細(xì)電化學(xué)(μ-ECM)在線高效制備大長(zhǎng)徑比微電極方法，旨在解決大長(zhǎng)徑比微電極制備難題。采用強(qiáng)堿性電解液及微秒級(jí)電源，實(shí)現(xiàn)了鎢電極的微米級(jí)精度可控去除。分析了微細(xì)電化學(xué)加工材料去除微觀過程，仿真分析了兩極距離變化條件下間隙電流密度變化，確定了基于臨界反應(yīng)距離精確控制材料去除的參數(shù)選擇范圍。建立了電極材料蝕除過程數(shù)學(xué)模型，得到了材料蝕除量的變化規(guī)律。進(jìn)行了系統(tǒng)的工藝實(shí)驗(yàn)，研究了電壓、脈寬、電解液濃度對(duì)微細(xì)電極材料去除率的影響規(guī)律。采用優(yōu)化的工藝參數(shù)，得到了直徑10μm、長(zhǎng)徑比大于200的微細(xì)電極，材料去除率最高可達(dá)2.7×10-2mm3/min，加工效率較目前主流方法提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。