【摘要】：目的:研究納米鉑黑修飾微電極陣列在神經(jīng)電生理信號(hào)檢測(cè)中的應(yīng)用及其檢測(cè)性能。方法:采用微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)工藝制備出用于神經(jīng)電生理檢測(cè)的微電極陣列，采用電化學(xué)沉積法在微電極陣列表面修飾納米鉑黑顆粒，通過掃描電鏡觀察修飾層的表面形貌。在同一測(cè)試環(huán)境下對(duì)比裸電極與修飾電極的噪聲水平。利用修飾電極進(jìn)行神經(jīng)電生理信號(hào)的檢測(cè)。

結(jié)果:電化學(xué)沉積法制備的納米鉑黑顆粒在微電極表面分布致密而均勻。修飾鉑黑后微電極信噪比可提高到原來的2.5倍，實(shí)驗(yàn)中能分辨出幅度在10μV左右的微弱電生理信號(hào)。結(jié)論:通過在微電極表面修飾納米鉑黑，可有效改善電極性能，提高神經(jīng)電生理信號(hào)檢測(cè)的信噪比。